金剛石拋光盤磨削半導(dǎo)體材料
半導(dǎo)體材料的這些特殊用途決定了其磨削加工過(guò)程中容不得半點(diǎn)瑕疵,因此對(duì)加工半導(dǎo)體材料的磨削工具有非常高的要求。湖南興大新材料有限公司針對(duì)半導(dǎo)體材料單晶硅研制了一款金剛石拋光盤,很好的解決了過(guò)去單晶硅磨削加工過(guò)程中精度低、效率慢、成本高的缺點(diǎn)。與其他磨削半導(dǎo)體材料的金剛石砂輪相比,興大公司的金剛石拋光盤有以下優(yōu)點(diǎn):
1. 磨削力強(qiáng),磨削壽命超過(guò)國(guó)外同類產(chǎn)品的20%~40%;
2. 拋光盤具有多孔,磨削不易發(fā)熱和堵塞;
3. 自銳性好,磨削鋒利,生產(chǎn)效率高;
4. 加工過(guò)程形狀保持性好,工件不易變形;
5. 磨削精度高,加工工件平面度可達(dá)0.001-0.002mm;
6. 磨削過(guò)程無(wú)污染,降低生產(chǎn)成本。
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